電子束焊接（EBW）是一種融合焊接工藝，其中將高速電子束施加到兩種要連接的材料上。當電子的動能在撞擊時轉(zhuǎn)化為熱量時，工件熔化并一起流動。電子束焊接通常在真空條件下執(zhí)行，以防止電子束散逸。

快速偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)也可以用于成像和雕刻（如果配備了適當?shù)碾娮釉O(shè)備）。在這種情況下，設(shè)備像掃描電子顯微鏡一樣操作，分辨率約為0.1毫米（受光束直徑限制）。在類似的模式下，由計算機控制的細光束可以通過熔化薄的表面層在金屬表面“寫”或“畫”圖片。

高壓設(shè)備還為陰極加熱提供5 V以上的低壓，為控制電極提供高達約1000 V的負電壓。電子槍還需要用于校正系統(tǒng)，聚焦透鏡和偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)的低壓電源。如果要提供計算機控制的成像，雕刻或類似的光束應(yīng)用，后提到的可能會非常復(fù)雜?？赡苓€需要復(fù)雜的電子設(shè)備來控制工件機械手。

電子束焊機加工具有以下的特色：
1）能量密度高電子束聚集點范圍小，能量密度高，適合于加工精微深孔和窄縫等。且加工速度快，。
2）工件變形小電子束加工是一種熱加工，主要靠瞬時蒸騰，工件很少發(fā)生應(yīng)力和變形，并且不存在工具損耗。適合于加工脆性、耐性、導(dǎo)體、半導(dǎo)體、非導(dǎo)體以及熱敏性材料。
3）加工點上化學(xué)純度高 由于整個電子束加工是在真空度1.33×10－2～1.33×10－4 Pa的真空室內(nèi)進行的，所以熔化時可以防止由于空氣的氧化作用所發(fā)生的雜質(zhì)缺點。適合于加工易氧化的金屬及合金材料，特別是要求純度高的半導(dǎo)體材料。
4）電子束焊機可控性好 電子束的強度和方位均可由電、磁的方法直接控制，便于實現(xiàn)自動化加工。

電子束焊技術(shù)早于1948年源起于德國，1952年制作了臺電子束加工機，1958年誕生了臺電子束焊機。真空電子束焊機提示它的基本原理是：真空條件下，電子槍發(fā)射的電子束在高電壓（通常是20kV～300kV）加快下（0.3～0.7倍的光速），通過電磁透鏡聚集成高能量密度的電子束，當電子束炮擊工件時，電子的動能轉(zhuǎn)化為熱能，焊區(qū)的部分溫度突然上升到6000℃以上，使工件材料熔化，完結(jié)焊接。

電子束焊機與核工業(yè)的展開息息相關(guān)。因為核輻射的防護，對核容器質(zhì)量提出了的要求，一些大厚度結(jié)構(gòu)選用傳統(tǒng)焊接或激光焊接方法無法完結(jié)的接頭，核工業(yè)中選用的一些難熔高溫材料，選用傳統(tǒng)焊接或激光焊接方法很難完結(jié)聯(lián)接，而電子束焊機能夠很好地完結(jié)其聯(lián)接。往后幾十年中，我國的核能裝備將以幾何級數(shù)增加，電子束焊接作為一種的聯(lián)接技術(shù)，必將在其中發(fā)揮重要作用。